Gas elektronik adalah gas berkualitas tinggi dengan tingkat kemurnian tinggi yang digunakan dalam industri semikonduktor, panel surya, dan elektronik presisi. Fungsinya meliputi proses etching, cleaning, hingga doping pada manufaktur chip dan perangkat elektronik.
Kami menyediakan berbagai jenis gas elektronik dengan standar kemurnian mulai dari 3N hingga 7N. Berikut daftar produk yang tersedia:
| Produk | Nama | Kemurnian |
|---|---|---|
| N2O | Dinitrogen Oksida (Nitrous Oxide) | 3N/5N5 |
| CL2 | Klorin | 5N |
| TCS | Triklorosilan | 4N |
| DCS | Diklorosilan | 4N |
| SiCL4 | Silikon Tetraklorida | 5N |
| C3F8 | Oktafluoropropana | 5N |
| BCL3 | Boron Triklorida | 5N |
| D2 | Deuterium | 5N |
| CHF3 | Trifluorometana | 5N |
| C4F8 | Oktafluorosiklobutana | 5N |
| C2F6 | Heksafluoroetana | 5N |
| NF3 | Nitrogen Trifluorida | 4N |
| C4F6 | Sulfur Heksafluorida | 4N/5N |
| SF6 | Sulfur Heksafluorida | 5N |
| CF4 | Tetrafluorometana | 5N |
| SiH4 | Silana | 6N |
| NH3 | Amonia | 5N/6N/7N |
| BF3 | Boron Trifluorida | 4N |
| WF6 | Tungsten Heksafluorida | 5N |
| HBr | Hidrogen Bromida | 5N |
| CH3F | Monofluorometana | 3N/4N5/5N |
| CH2F2 | Difluorometana | 3N/5N |
| COS | Karbonil Sulfida | 4N |
| C2HF5 | Pentafluoroetana | 4N |
| CF3I | Trifluoroiodometana | 4N |
| C5F8 | Oktafluorosiklopentena | 4N |
| SiF4 | Silikon Tetrafluorida | 5N |
| CH6Si | Metilsilana | 4N |
| C3H10Si | Trimetilsilana | 4N |
| Cl6Si2 | Heksaklorodisilana | 3N |
| HF | Hidrogen Fluorida | 3N/5N |