电子气

电子气体是一种高品质、高纯度的气体,广泛应用于半导体、太阳能电池板和精密电子行业。其用途包括芯片和电子设备制造中的蚀刻、清洁和掺杂。
我们提供各种纯度标准从 3N 到 7N 的电子气体。以下是我们提供的产品列表:

 

产品 英文名称 中文名称 纯度
N2O Nitrous Oxide 一氧化二氮 3N/5N5
Cl2 Chlorine 氯气 5N
TCS Trichlorosilane 三氯硅烷 4N
DCS Dichlorosilane 二氯硅烷 4N
SiCl4 Silicon Tetrachloride 四氯化硅 5N
C3F8 Octafluoropropane 八氟丙烷 5N
BCl3 Boron Trifluoride 三氟化硼 5N
D2 Deuterium 5N
CHF3 Trifluoromethane 三氟甲烷 5N
C4F8 Octafluorocyclobutane 八氟环丁烷 5N
C2F6 Hexafluoroethane 六氟乙烷 5N
NF3 Nitrogen Trifluoride 三氟化氮 4N
C4F6 Sulfur Hexafluoride 六氟化硫 4N/5N
SF6 Sulfur Hexafluoride 六氟化硫 5N
CF4 Tetrafluoromethane 四氟甲烷 5N
SiH4 Silane 硅烷 6N
NH3 Ammonia 氨气 5N/6N/7N
BF3 Boron Trichloride 三氯化硼 4N
WF6 Tungsten Hexafluoride 六氟化钨 5N
HBr Hydrogen Bromide 溴化氢 5N
CH3F Mono Fluoromethane 一氟甲烷 3N/4N5/5N
CH2F2 Difluoromethane 二氟甲烷 3N/5N
COS Carbonyl Sulfide 硫化羰 4N
C2HF5 Pentafluoroethane 五氟乙烷 4N
CF3I Trifluoroiodomethane 三氟碘甲烷 4N
C5F8 Octafluorocyclopentene 八氟环戊烯 4N
SiF4 Silicon Tetrafluoride 四氟化硅 5N
CH6Si Methylsilane 甲硅烷 4N
C3H10Si Trimethylsilane 三甲基硅烷 4N
Cl6Si2 Hexachlorodisilane 六氯二硅烷 3N
HF Hydrogen Fluoride 氟化氢 3N/5N